最新國家電子級(jí)超純水標(biāo)準(zhǔn)GB/T 11446.1-1997
中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T 11446.1-1997電子級(jí)超純水（Electronic grade water ）代替GB 11446.1–89
1.范圍
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子級(jí)超純水的級(jí)別、要求、試驗(yàn)方法和檢驗(yàn)規(guī)則.
本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子元器件生產(chǎn)和清洗用水．
2.引用標(biāo)準(zhǔn)
下列標(biāo)準(zhǔn)所包含的條文，通過在本標(biāo)準(zhǔn)中引用麗構(gòu)成為本標(biāo)準(zhǔn)的條文．本標(biāo)準(zhǔn)出版時(shí)，所示版本均為有效．所有標(biāo)準(zhǔn)都會(huì)被修訂，使用本標(biāo)準(zhǔn)的各方應(yīng)探討使用下列標(biāo)準(zhǔn)最新版本的可能性．
GB/T 11446.3—1997 電子級(jí)水測試方法通則
GB/T 11446.4—l997 電子級(jí)水電阻率的測試方法
GB/T 11446.5—1997 電子級(jí)水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法
GB/T 11446.6—1997 電子級(jí)水中二氧化硅的分光光度測試方法
GB/T 11446.7—1997 電子級(jí)水中痕量氯離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的離子色譜測試方法
GB/T 11446.8—1997 電子級(jí)水中總有機(jī)碳的測試方法
GB/T 11446.9—1997 電子級(jí)水中微粒的儀器測試方法
GB/T 11446.10—1997 電子級(jí)水細(xì)菌總數(shù)的濾膜培養(yǎng)測試方
3.定義
本標(biāo)準(zhǔn)采用下列定義：
3.1電子級(jí)水electronic grade water
制造電子元器件工藝過程中所用的高純水．
3.2電阻率resistivity
在規(guī)定溫度下1 cm2水溶液兩相對(duì)面之間測得的電阻值．通常用符號(hào)P表示，單位為Ω﹒cm，純水的理論電阻率為18.3 MΩ﹒cm (25℃)．
3.3全硅total silicon
水中可溶性硅和以二氧化硅膠體狀態(tài)存在的硅的總量．
3.4可溶性硅soluble silicon
以單一分子狀態(tài)存在于水中的溶解性硅酸鹽．
3.5微粒性物質(zhì)granular matter
除氣體以外，以非液態(tài)分散在水中，并形成非均相混合物的物質(zhì)．
3.6總有機(jī)碳(TOC) total organic carbon
水中以各種有機(jī)物形式存在的碳的總量．包括易被一般強(qiáng)氧化劑氧化的有機(jī)物和需用特殊方法氧化的有機(jī)物。
3.7吸附absorption
某些多孔性粒狀物質(zhì)由于表面活性作用而具有吸著某些物質(zhì)的能力。
3.8凝聚coagulation
在源水中加入某種電解質(zhì)后，水中帶有電荷的膠體微粒被電解質(zhì)中的異種電荷中和，從而使其聚集成較大顆粒而沉降的現(xiàn)象。
3.9絮凝flocculation
水中的微粒在一定條件下相互碰撞而集結(jié)為絮狀沉淀的現(xiàn)象。絮凝一般是在凝聚作用后緩慢進(jìn)行，可除去水中更細(xì)的微粒。
3.10砂濾器sand filter
用于盛放不同直徑的砂粒，以除去源水中懸浮固體和混濁物的裝置。
3.11 活性碳過濾器activated carbon filter
裝有粒狀活性碳的過濾器，用于除去水中的可溶性有機(jī)物和過量的殘余氯。
3.12離子交換ion exchange
一種不溶性物質(zhì)與一種液體之間相互交換離子的可逆過程，該過程中物質(zhì)并無實(shí)質(zhì)性結(jié)構(gòu)變化．
3.13去離子水deionized water
經(jīng)過離子交換處理，除去了呈離子形式的雜質(zhì)的高純水。
3. 14再生regeneration
離子交換過程操作循環(huán)中的一部分。在該部分中，用一定量的化學(xué)試劑通過離子交換樹脂使其恢復(fù)交換能力。
3.15復(fù)合床complex bed
將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂分別裝入兩個(gè)離子交換柱中，將兩柱串聯(lián)，使水依次通過兩個(gè)柱而被純化，復(fù)合床處理水的純度雖不及混合床，但操作較簡單。
3.16混合床mixed bed
將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂混合均勻，填充于同一離子交換柱中，其純化效果相當(dāng)于許多組合床串聯(lián)使用，出水質(zhì)量好但再生比較麻煩．
3.17電滲析electrodialysia
一種分離水中離子的方法。在電滲析器中，陰陽兩極之間用交替排列的陰、陽離子交換膜分隔成一系列小室，水流通過小室時(shí)，在直流電場作用下，水中陽離子向陰極方向移動(dòng)，但不能通過陽膜；陰離子則相反．這樣就形成相間存在的濃、淡水室而達(dá)到提純水的目的。
3.18反滲透reverse osmosis
亦稱逆向滲透。一種利用滲透原理進(jìn)行分離的方法。用半透膜將濃水和淡水隔開，并在濃水上施加比滲透壓更強(qiáng)的機(jī)械壓力，則濃水中大部分水透過半透膜而雜質(zhì)仍留在其中，達(dá)到分離提純的目的．
3.19反滲透膜reverse osmosis membrane
用于反滲透法制備純水的一種合成薄膜，其孔徑一般為0. 02 μm或更小，可用于除去無機(jī)離子、有機(jī)物、細(xì)菌等，使水純化。
3. 20微孔膜濾器membrane filter
一種平均孔徑（直徑）大于0. Olμm的薄膜，能把大于平均孔徑的微粒截留在其表面或附近。
3.21超過濾uhrafihration
一種過濾方法，在一定壓力下使水流通過超濾膜以除去水中的極細(xì)微粒、膠體和細(xì)菌等．
3.22終端terminal
高純水生產(chǎn)流程中經(jīng)過各道凈化工藝后，水的出口或使用地點(diǎn)。
4 分類
4.1電子級(jí)水分為四個(gè)級(jí)別；I級(jí)、Ⅱ級(jí)、Ⅲ級(jí)和Ⅳ級(jí)。
4.2標(biāo)記
I級(jí)電子級(jí)水標(biāo)記為：EW-I；
II級(jí)電子級(jí)水標(biāo)記為；EW-Ⅱ；
III級(jí)電子級(jí)水標(biāo)記為；EW-Ⅲ；
Ⅳ級(jí)電子級(jí)水標(biāo)記為.EW-Ⅳ。
5 要求
電子級(jí)水的技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合表1的規(guī)定。
表1 電子級(jí)水的技術(shù)指標(biāo)
級(jí)別指標(biāo) | EW-I | EW-Ⅱ | EW-Ⅲ | EW-Ⅳ |
電阻率MΩ﹒cm(25℃) | 18以上(95N時(shí)間)不低于17 | 15(95N時(shí)間)不低于13 | 12.0 | 0.5 |
全硅，最大值，μg/L | 2 | 10 | 50 | 1000 |
>1μm微粒數(shù)，最大值，個(gè)/mL | 0.01 | 5 | 10 | 500 |
細(xì)菌個(gè)數(shù)，最大值，個(gè)/mL | 0.01 | 0.1 | 10 | 100 |
銅最大值，μg /L | 0.2 | 1 | 2 | 500 |
鋅，最大值，ug/L | 0.2 | 1 | 5 | 500 |
鎳，最大值．μg/L | 0.1 | 1 | 2 | 500 |
鈉．最大值，μg /L | 0.5 | 2 | 5 | 1000 |
鉀，最大值．ug/L | 0.5 | 2 | 5 | 500 |
氯，最大值．ug/L | l | l | 10 | 1000 |
硝酸根，最大值，ug/L | 1 | 1 | 5 | 500 |
磷酸根，最大值．ug/L | 1 | 1 | 5 | 500 |
硫酸根，最大值 ug/L | 1 | 1 | 5 | 500 |
總有機(jī)碳，最大值，ug/L | 20 | 100 | 200 | 1000 |
6試驗(yàn)方法
6.1電阻率
電子級(jí)水的電阻率按GB/T 11446.4–1997的測試方法進(jìn)行測定．
6.2全硅含量（以二氧化硅計(jì)）
電子級(jí)水全硅（以二氧化硅計(jì)）含量按GB/T 11446.6–1997的測試方法進(jìn)行測定。
6.3微粒數(shù)
電子級(jí)水中微粒數(shù)按GB/T 11446.9–1997的測試方法進(jìn)行測定．
6.4細(xì)菌總數(shù)
電子級(jí)水中細(xì)菌總數(shù)按GB/T 11446.10–1997的測試方法進(jìn)行測定。
6.5痕量金屬含量
電子級(jí)水中痕量金屬的含量按GB/T 11446. 5–1997的測試方法進(jìn)行測定。
6.6氯離子，硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量
電子級(jí)水中氯離子、硫酸根離子、硝酸根離子、磷酸根離子等陰離子的含量按GB/T 11446.7–
1997的測試方法進(jìn)行測定．
6.7總有機(jī)碳含量
電子級(jí)水中總機(jī)碳含量按GB/T 11446.8–1997的測試方法進(jìn)行測定。
7 檢驗(yàn)規(guī)則
7.1檢驗(yàn)部門
電子級(jí)水的檢驗(yàn)均應(yīng)在制造廠的水質(zhì)檢驗(yàn)部門進(jìn)行．
7.2檢驗(yàn)分類
電子級(jí)水的檢驗(yàn)分為交收檢驗(yàn)和例行檢驗(yàn)．
7.3交收檢驗(yàn)（抽驗(yàn)項(xiàng)目）
7.3.1電子級(jí)水技術(shù)指標(biāo)中電阻率、鈉離子、全硅（以二氧化硅計(jì)）為交收檢驗(yàn)項(xiàng)目。
7.3.2在用水終端采樣試驗(yàn)后檢驗(yàn)結(jié)果如有一項(xiàng)不合格時(shí)，應(yīng)再次采樣進(jìn)行檢驗(yàn)，如仍有一項(xiàng)指標(biāo)不
合格，應(yīng)提出改進(jìn)措施直到水質(zhì)合格。
7.4例行檢驗(yàn)（全檢項(xiàng)目）
例行檢驗(yàn)每年進(jìn)行一次，當(dāng)制水條件發(fā)生變更時(shí)也應(yīng)進(jìn)行例行檢驗(yàn)。
7.4.1檢驗(yàn)項(xiàng)目為表1規(guī)定的全部技術(shù)指標(biāo)要求．
7.4.2在用水終端采樣后進(jìn)行例行檢驗(yàn)，檢驗(yàn)結(jié)果如有一項(xiàng)以上不合格時(shí)，應(yīng)再次采樣進(jìn)行檢驗(yàn)，如仍有一項(xiàng)以上指標(biāo)不合格，應(yīng)提出改進(jìn)措施直到水質(zhì)合格．
8采樣、貯存、運(yùn)輸及標(biāo)志
8.1 電子級(jí)水的采樣、貯存運(yùn)輸按GB/T 11446. 3–1997的規(guī)定．
8.2標(biāo)志;在用水終端采樣進(jìn)行檢驗(yàn)時(shí)，水質(zhì)合格后應(yīng)附有檢驗(yàn)合格證，合格證應(yīng)注明；
a) 名稱及級(jí)別;
b) 各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo);
c) 制水單位;
d) 供水日期；
e) 檢驗(yàn)員簽章及檢驗(yàn)日期．